超音波加工：超音波振動を用いた非接触ナノ位置決めテーブルシステム

摘要

本研究では、コンパクトなナノ位置決めテーブルシステムの実現を目的として、超音波振動による非接触案内機構を用いた位置決めテーブルシステムを試作し、その基本特性について評価を行った。以下にその詳細を報告する。