超音波計測：位相差方式超音波流量計

摘要

超音波流量計が開発されはじめた黎明期には、位相差方式の研究開発も盛んに行われたが、現在この方式による製品は殆ど見当たらない。 原因は、測定範囲の狭さにあったと想定される。当時は、シングアラウンド方式がまず大口径管で利用された。 その後、電子回路技術の進歩により高速クロックで直接時間計測をし、マイクロプロセッサで統計処理する方式が主流になった。 現在は、専用のチップにより相関技術で時間計測をする製品も出ている。 しかし、これまでの開発は精度向上に主眼がおかれ、消費電力の低減を目指すものは少なかった。 我々は、位相差方式が超音波流量計の低消費電力化に有利であり、防爆要件によって低消費電力でなければならない本質安全防爆機器を実現するためにもこの方式が有効と考えたため、位相差方式の低消費電力超音波流量計の開発を進めた。