Siウエハの超音波援用固定砥粒化學の機械研磨（UF-CMP）

摘要

本研究では、Siと化学反応性を示すアプレシブペッレトに超音波楕円振動を付与しながらSiウエハの固定砥粒化学的機械研磨を行う手法を提案し、大口径Siウエハの高能率加工を目指す。本稿では、超音波振動によるペレット寿命の向上について報告する。