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机译:微小的硅传感器使用MEMS技术提供极其精确的压力测量
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机译:基于微型MEMS的压力传感器在颅内压测量中的应用
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机译:一种测量设置,可自动表征硅压阻MEMS压力传感器
机译:用于MEMS压力传感器的碳化硅的生长和表征。
机译:基于硅MEMS技术的高温环境高一致性光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:用于高压测量的更灵敏的硅基MEMS压力传感器的研究