LCDパネル製造におけるカラーフィルタのリペア技術

摘要

LCDパネルはノートPC用，デスクトップPC用モニタ,TV向けにも，その市場を拡大している。 またLCDパネルの性能面では，高精細，低消費電九広視野角，高速応答，大画面化が進められている。 一方，LCDパネル製造における生産コスト低減においては，マザーガラスの大型化が進められてきており，2メートルを超える第8世代工場も稼動している。さらに3メートルを超える第10世代工場も進められているが，製造においては旧世代と同様な欠陥発生確率となることが予想される。 このため，旧世代以上に歩留まり管理が重要となる0一般にリペア処理は検査ライン内に組み込まれ，TFTパネルとカラーフィルタパネルの貼り合わせ前のインライン検査に基づいて行われる。TFTパネルとカラーフィルタパネルでは異なるリペア処理が行われており，カラーフィルタパネルのリペア処理としてはパルスレーザによるアプレーション加工を利用した余剰パターンリペアや，研磨テープによる局所?高精度研磨加工を利用した突起欠陥リペア，ニードル，ディスペンサ，カラーテープなどによるカラーレジスト薄膜形成を利用した色抜け欠陥リペア等の処理が行われる。