走査透過電子顕微鏡の球面収差補正とその応用

摘要

1930年代にScherzerが荷電粒子線用の静電界型及び静磁界型回転対称レンズの球面収差係数が正の符号しか取りえないことを証明して以来，多くの研究者たちが電子顕微鏡の分解能向上を目指して球面収差係数の小さな対物レンズを設計することに注力してきた．これに電子顕微鏡自身の総合的な安定性を向上させる努力が加わり，今日では200kV級の透過電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope：TEM）で0．1nmの格子分解能が得られるまでに至っている．