光散乱法による粒子計測-雑音成分低減の考察-

摘要

計測の中でも、クリーンルーム内浮遊粒子の粒径測定は特殊なものの一つである。 現在のところ、この測定は単一粒子散乱光法の通用が一般的である。 そしてどの程度微小粒径まで検出可能かが特に重要視される。 しかし最小検出可能粒径（以下最小可測粒径）については、不可能領域の壁があって或る値以下は低減不能に陥る怖れがある。 一般に物理量の最小可測値の縮小を図っていくとき、徹底的にS/N比の向上に的を絞る。 最後まで困難を極めるのが感度Sの向上よりはむしろ雑音Nの低減である。 しかし雑音の低減にはハード面の範囲を超えた物理的な究極限界が存在する場合があり、この正体だけは明確に掴んでおかねばならない。 本稿では技術解説という形を借りて、計測屋である筆者の立場から、メーカー研究所、及び大学での上記限界の在り処を辿った経緯について触れ、この分野の関係者の参考に供してみたい。