クリーンルームおよび関連する制御還境気中の酸性物質の測定方法

摘要

この附属書は、クリーンルームおよび関連する制御環境空気中の分子状汚染物質（Airborne MoiecuiarContaminant；AMC）のうち、酸性物質（Acids）の測定方法について規定する。 この附属書で用いる主な用語の定義は、JISK 0211（分析化学用語（基礎部門））、JIS K 0211（分析化学用語（クロマトグラフィー部門））、JIS Z 8122（コンタミネーションコントロール用語）、及びJIS Z 8402（分析·試験の許容差通則）による。 酸性物質とは電子対受容体化合物であって化学反応的に腐食性を有する物質で、塩化水素、硝酸、硫酸、りん酸、ふっ化水素酸、臭化水素酸などがある。 捕集装置（インピンジャー、吸引ポンプ、流量計、その他）、イオンクロマトグラフ分析装置