ダイヤモンドによる電子線技術の新展開

摘要

電子は，高速で制御性良く，電界や磁界でエネルギーや軌道を制御できるため，電子線が幅広く利用されている．その多くが，ブラウン管で代表されるような表示デバイス，電子顕微鏡などの評価分析装置など電子線を真空中で利用している．優れた電子線の機能を，大気中で利用することが望まれている．しかし，既存の電子線照射装置において，電子線を大気中に取り出すためには，300keV以上の高エネルギーが必要となり，電子線の優れた機能を十分に発揮できるまでには至っていない．