RFプラズマCVD法で合成したDLC膜のフレッテンタ摩耗

阿部喬晋; 小林利靖; 鈴木学

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RFプラズマCVD法で合成したDLC膜のフレッテンタ摩耗

机译：RF等离子体CVD法合成DLC膜的Frettenta磨损

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DLC膜は優れたトライボロジー特性を有し，耐摩耗コーティングとしてその利用範囲は急速に広がっている．特に最近では付着力の向上に伴い過酷なしゅう動環境下での利用が期待されており，重荷重下での摩擦摩耗特性の把握が不可欠となってきた．

机译：DLC膜具有出色的摩擦学性能，其用作耐磨涂层的范围正在迅速扩大。特别地，近来，随着粘合力的提高，预期将其用于苛刻的滑动环境中，并且了解大负载下的摩擦和磨损特性已成为必不可少的。

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来源
《ニュ—ダイヤモンド》 |2006年第3期|共2页
作者
阿部喬晋; 小林利靖; 鈴木学;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 jpn
中图分类装饰工业和精密仪器原料开采;
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