レーザSQUID顕微鏡,レーザテラヘルツ放射顕微鏡,関連シミュレーションの統合的／選択的利用－電気的非接続でのLSIチップ故障箇所絞り込み手法

摘要

LSIチップの故障箇所を，外部からの電源印加も電気信号入力も行わずに，非破壊で絞り込む手法として，レーザSQUID顕微鏡（L-SQ）とレーザテラヘルツ放射顕微鏡（LTEM）を提案している．L-SQでは連続発振レーザビーム照射によりLSIチップに励起された光電流が誘起する磁場を検出する．LTEMではフェムト秒レーザビーム照射によりLSIチップ内に励起された光電流が発するテラヘルツ波を検出する．これらと，両手法の機能の一部をシミュレートするソフトウェアを，組合せてあるいは選択的に用いることで，LSI配線系の多くの故障モードの故障原因欠陥を絞り込むことができる．従来我々が発表している成果を整理し，総括して示すことでその全体像を紹介する．