高さ調節可能なリテーナ機構を用いた新揺動研磨法

摘要

小形工具を用いる大口径ウエハの揺動研磨では，外周部を研磨するために，工具をウエハからはみ出させることが必要となる．この時発生するウエハ外周部の過大な圧力を抑制するために，高さ調節可能なリテーナ機構を用いる新しい揺動研磨法を考案した．この機構によりウエハ外周部の過剰研磨を抑えると同時に，揺動範囲を最適化することによりウエハ全面で銅膜の加工均一性±5％以下を達成した．シミュレーションでは，はみ出し時の傾斜圧力分布が実験結果とよく一致することを示すとともに，工具回転数が大きい領域においては，静的な条件で測定した相対弾性定数と比べて，数倍大きい動的相対弾性定数を適用することにより研磨形状は実験とよく一致し，このことから工具回転数が大きい程，ポリシヤは硬く作用することを明らかにした．