ゾルゲル法を利用した固定砥粒工具の開発

摘要

従来のビトリファイド砥石は乾式成形法で製造されているために，微粒では砥粒の分散性が悪化するという問題点が指摘されている．そこで，微粒を用いてもより均質の多孔質体を製造できる可能性のあるゾルゲル法を，一般砥石の製造に適用することを試みた．その結果，この製法は微粒の砥石の製造に適しており微粒でもブリッジ構造を有した砥石が製造できること，出発溶液の組成で砥石の組織が制御できること，焼成温度により砥石組織を変化させることなく砥石の硬度が制御できることを見出した．また，試作したGC#10000の砥石を用いてシリコンウェーハのインフィード研削を行った結果，25nmRyの鏡面を加工することができた．