自転／公転型研磨法の新提案と高精度形状研磨の基礎研究

摘要

遊離砥粒研磨において，非球面金型等の加工のため安定的な研磨除去量と仕上げ面粗さ向上の確保が必要とされている．本研究では，パイプ状研磨ツールを用いて，ツールの端面を加工面に接触させ，ツールの軸線を加工面法線と一定の角度に保ち，ツールが軸線周りに回転する自転運動と加工面の中心に通る法線の周りに回転する公転運動を同時に実現させる新しい自転／公転型研磨法を提案した．この手法は，研磨中にツールの形状が安定的に維持でき，研磨エリア内の速度分布により研磨面粗さも一様にできる．本報では，まず自転／公転型研磨法の原理を紹介し，数値計算によりツール形状の検討を行った．また，簡易的な実験方法による自転／公転型研磨法の研磨特性の検証を行い，自転／公転型研磨ユニットの試作を行った．最終的に試作した自転／公転ユニットによる研磨実験を行い，基礎的な研磨特性を確認した．