液流式電着メッキ法を用いたダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発とその加工特性に関する研究

摘要

太陽電池やLEDなどの基盤に使用されるシリコンやサファイヤのような硬脆材料を切断するツールの一つにダイヤモンドワイヤ工具がある．ダイヤモンドワイヤ工具とは，芯線表面に微細なダイヤモンド砥粒を電着メッキや樹脂コーティングによって固着させた工具である．本研究では，電着メッキによるダイヤモンドワイヤ工具の生産性の向上を目的とし，ダイヤモンド砥粒とメッキ液を攪拌した懸濁液を流動させながら，砥粒の電着を行う液流式電着メッキ法を考案した．本報告では，液流式電着メッキ法によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法およびその加工特性の検討を行った．具体的には，液流式電着メッキ法による砥粒の高速電着メカニズムや，本方式によるダイヤモンドワイヤ工具の作製条件が加工特性に及ぼす影響について実験的に検討し，明らかとなった結果について述べる．