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【24h】

非球面形状の加工と測定評価方法

机译:非球面形状加工及测量评估方法

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摘要

最近の身の回りの品物を見ると,大変多くの光学部品が使われている.これは,CDプレーヤー,レンズ付きフイルム,DVD,光通信など数を上げればきりがないほどである.これら光学部品の中には,光学系を小型化するために多くの非球面形状を持つ光学レンズが使用されている.これら非球面レンズは,1980年代にCDピックアップレンズに使用され始めてから現在にいたるまで多くの分野で急速に普及してきている.この前提は,非球面を作成するのに必要な超精密加工機,ダイヤモンド工具,材料,測定機の開発が基になっている.特に,非球面形状の測定と評価は,1980年代前半までは,非常に高価であり解析の自由度がなかった.1984年にテーラーホブソン社(以下TH)が,広範囲,高分解能を持つFormTalysurf(以下FTS)を発表してから,この非球面加工と計測に関して大きな進歩を遂げた.現在では,非球面形状精度を0.1μm以下で評価しなくてはならなくなってきている.このような,高精度の形状評価には,非球面,超精密加工機の特性,材料,工具,測定機の特性,環境などの総合的な知識が必要になってくる.
机译:这些天来看看我们周围的物品时,会使用很多光学部件。如果增加CD播放机,带镜头的电影,DVD,光通信等的数量,这将是无穷无尽的。在这些光学部件中,使用具有许多非球面形状的光学透镜以减小光学系统的尺寸。从1980年代开始在CD拾取透镜中使用以来,这些非球面透镜已在许多领域迅速普及。这个前提是基于开发非球面曲面所需的超精密机器,金刚石工具,材料和测量机器的。特别是,非球面形状的测量和评估非常昂贵,并且直到1980年代初都没有分析的自由。自从泰勒·霍布森(TH)在1984年宣布宽范围和高分辨率的FormTalysurf(FTS)以来,这种非球面处理和测量技术已取得了巨大进步。目前,有必要将非球面形状精度评估为0.1μm或更小。这种高精度的形状评估需要全面了解非球面,超精密加工机的特性,材料,工具,测量机的特性以及环境。

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