ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiO{sub}2, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ НА ПЕРЕМЕННОМ ТОКЕ

摘要

Приведены результаты экспериментальных исследований оптических постоянных и скорости роста пленок SiO{sub}2, изготовленных магнетронным распылением Si-мишени в Ar:O{sub}2-среде током ультразвуковой частоты. Полученные пленки SiO{sub}2 по оптическим параметрам аналогичны пленкам SiO{sub}2, изготовленным методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием.