СВЕТОДИОДНЫЙ МНОГОКАНАЛЬНЫЙ СПЕКТРАЛЬНЫЙ ЭЛЛИПСОМЕТР С БИНАРНОЙ МОДУЛЯЦИЕЙ СОСТОЯНИЯ ПОЛЯРИЗАЦИИ

摘要

Использование набора из 8 светодиодов в многоканальном спектральном эллипсометре с бинарной модуляцией состояния поляризации позволило создать простой эллипсометр с полностью перекрывающимся диапазоном длин волн 350-810 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ - 0.01° и 0.03° соответственно. Минимальное время измерения Ψ и Δ в диапазоне длин волн 435-690 нм - 0.5 с, в полном диапазоне длин волн 350-810 нм - 5 с.