КОМПАКТНЫЙ 3D-НАНОПОЗИЦИОНЕР СКАНИРУЮЩЕГО ТУННЕЛЬНОГО МИКРОСКОПА, РАБОТАЮЩИЙ ПРИ ТЕМПЕРАТУРАХ 4.2-300 К

摘要

Описано простое компактное устройство позиционирования по трем координатам иглы сканирующего туннельного микроскопа, предназначенного для работы в сверхвысоком вакууме и в диапазоне температур от комнатной до гелиевой (4.2 К). Нанопозиционер содержит два независимых шаговых пьезодвигателя. Один из них предназначен для подвода иглы к образцу (ось Z), а другой - для позиционирования в плоскости образца (X, Y). Точность позиционирования по оси Z составляет до 10 нм, в плоскости (X, Y) - До 40 нм при температуре 4.2 К. Максимальная амплитуда импульсов управления ±250 В для Z-пьезодвигателя и 140 В для (X, Y)-позиционера (при 4.2 К). Прибор выполнен из немагнитных материалов и допускает прогрев до 150℃ для работы в сверхвысоком вакууме.