ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННЫХ ПУЧКОВ ПРИ НАЛИЧИИ ИОННОЙ КОМПЕНСАЦИИ ЗАРЯДА МЕТОДОМ 'ДЫРОЧНОЙ КАМЕРЫ'

摘要

Представлены результаты исследования параметров электронных пучков, созданных газоразрядной электронной пушкой с полым анодом на основе высоковольтного тлеющего разряда, работающей в режиме ионной фокусировки в диапазоне среднего и низкого вакуума. Предложенный метод "дырочной камеры" и разработанное на его основе устройство позволили эффективно измерять параметры электронных пучков в условиях ионной фокусировки при отработке режима работы газоразрядной электронной пушки в технологических процессах.