高精度オリフィス絞りによる－高精度空気静圧軸受の開発とその特徴

摘要

空気静圧軸受（エアスピンドル／エアベアリングなどとも呼ばれる）は回転精度が非常に高く，振動がほとんどないので，精密測定機器や超精密加工機に採用されるようになって久しい。しかし，空気静圧軸受を使うには，クリーンルームなみのきれいな高圧(0.3 Mpa～0.7 Mpa)乾燥空気を供給し続けなければならない。 そのためにかかるコンプレッサの電気代は，年間何十万円にも何百万円にも達するはずである。 筆者が開発した「BISSIAH（ピサイア）ML10」（微細穴専用加工機：対象穴径￠0.3 mm～￠0.3 nm。 穴径と深さの比〈アスペクト比〉は，￠0.3 mm×50 mmのときに最大170倍に達する。 製造元は（株）ダイヤ精機製作所。 2004年2月4日，（財）機械振興協会より第1回新機械振興賞「中小企業庁長官賞」http://www.tri.jspmi.Or.jp/prize/PPMI/ 01ppmi.htmを受賞した）にも，3台の特殊な空気静庄漣由受が搭載されている。