最新測定技術－微細·ナノを測る：精密加工部品の三次元非接触測定ソリューション

摘要

長年の光学·半導体業界での経験を基に、昨今精密機械加工部品における加工精度の向上とともに、従来の線測定（接触式による2次元的測定）では、時間的に情報量と不足で、製品機能を十分に加工にフィードバックできなくなってきている。 つまりは、領域評価による、部品の開発ならびに品質管理、さらには加工現場での製品管理は、必要不可欠になりつつあるということである。 測定時間に制限が無ければこのようなことにはならないが、現在特に自動車業界で要求されることは、一般的に測定スループットを数秒（10秒以内）にすることである。 ここ10年弱の期間を経て、自動車業界（加工機業界も含む）への実績は増加の傾向にある。 これらの要求のソリューションとして、ザイゴ社の非接触三次元形状·粗さ測定機New View 6000シリーズを紹介する。