非相反移相効果を用いたシリコン細線導波路型光アイソレータの高アイソレーション動作

摘要

シリコン光集積回路に用いるシリコン細線導波路型光アイソレータについて述べる。磁気光学材料であるCe:YIGを、直接接合技術を用いてマッハツェンダ干渉導波路上に接合することにより、非相反移相効果を用いた光アイソレータを製作した。干渉計の合分波に用いる3dBカップラに、損失の小さい分布結合型方向性結合器を用いることで、デバイスの挿入損失を大きく低減した。製作したデバイスで、波長1552nmにおいて28dBのアイソレーションが得られた。