チップ間波長多重光配線用異周期DBRの一括干渉露光

摘要

ボード内チップ間波長多重超広帯域光配線のために，異なる周期の複数の分布ブラッグ反射器（DBR）を周期微調可能な干渉露光を用いて薄膜光導波路に集積することを検討している今軌　 ロイドミラー干渉光学系にポリゴンミラーを用いた場合と，円柱ミラーを用いた場合を検討した8mm内に集積した8個のDBRで，約3伽m間隔の8波長を結合効率80％以上，クロストーク雑音－10dB以下で合分波機能を得られるように設計した．ポリゴンミラー方式においても±5％程度の周期微調が期待できる.円柱ミラー方式では周期チャープによる反射特性の劣化が危惧されたが，それでも2回露光により上記要求を満足できるDBRを作製できることを明らかにした．