極微細パタソ形成のための超臨界乾燥法

摘要

パタン乾燥時に超臨界流体を用いることにより、微細化で問題となるパタン倒れを解決することができる。 この道臨界乾燥法を用いて、これまで崩れて形成不可能とされてきたナノメータ級パタンも形成可能であることが実証された。 ここでは超微細パタン形成における超臨界乾燥法について解説する。