新しいプラズマ反応場の開発--パルス変調高周波熱プラズマ

摘要

高周波プラズマの発生に時間制御の考えを導入しました。パルス的に高周波電力の供給をオン、オフすることにより、プラズマの超高温場と低温場をミリ秒の時間オーダーで交互に実現する特異な反応場を実現することができました。 大気圧付近で発生する熱プラズマは、10,000℃以上の高温と化学的に高活性な状態を有しています。 熱プラズマの発生法の中で、高周波誘導熱プラズマは無電極放電であるため、不純物の影響のない多様な（酸化·還元·不活性雰囲気の）高温反応場を提供し、高融点金属やセラミックスの溶融·球状化、スプレーコーティング、薄膜合成、超微粒子合成など多様な材料製造プロセスへ応用されてきました。