机译:SON(无硅)MOSFET的制造及其在ULSI中的应用
SON (silicon on nothing); SOI (silicon on insulator); ESS (empty space in silicon); Silicon migration; Hydrogen annealing;
机译:SON(无硅)MOSFET的制造及其在ULSI中的应用
机译:儿子的制作(硅上没有)-MOSFET及其ULSI应用
机译:儿子的制作(硅上没有)-MOSFET及其ULSI应用
机译:针对ULSI时代的双材料栅极绝缘浅延展无硅(DMG ISE SON)MOSFET新型MOSFET架构的TCAD性能研究
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:黑色硅的最新进展:从施工到应用
机译:用氮化硅层的RSO工艺模拟和制造研究