SAWデバイスシミュレーションにおけるモード結合パラメータの周波数依存性検討

摘要

無線方式の高速化に伴い，SAWフィルタにも大きな比帯域が要求されるようになっている．設計に用いられるシミュレータには様々あるが，モード結合理論のようにSAWの振る舞いを単純化したモデルでは，そのパラメータの周波数依存性を考慮しなければ十分な精度を発揮できない．本報告では，速度分散性と電気－音響変換係数の周波数依存性についての近似式を示し，それらを用いたシミュレーションが実測特性を精度よく再現できることを示す．