FM変調によるSAW攪拌の基礎的検討

摘要

128°YXLiNbO_3基板を用いたFM変調によるSAW攪拌の基礎的検討結果について報告する．SAWデバイスに印加する駆動周波数に応じて水中における超音波ビームのプロファイルが変化することを，音圧分布と流速分布の計測によって確認した．また，FM制御の掃引周波数を最適に設定すれば流体の攪拌性能が向上することを実験的に示した．本手法は，単一のIDTのみで流れ場を時空間的に変化させることが可能であり，攪拌効果のみでなく小型化をも達成できる．