振動板の傾斜制御を用いた近距離場音波浮揚利用非接触搬送法の搬送速度向上に関する検討

摘要

近距離場音波浮揚現象を用い、従来20 kHzの振動子による定在波型非接触搬送方法が実琴されている。 これまで振動子をパルスモータステージ等で移動させる位置決めが容易な定在波型では、十分な搬送速度を実現できていない。 そこで、筆者らは40 kHz振動子を用いリニアステージを使用した搬送システムを試作し、従来よりも小型化、軽量化、消音化、保持力の向上を図った。また振動板の傾きを制御することによって、搬送速度の向上と位置決め精度の向上について検討を行ったので報告する。