電子線Tomographyの概要とナノコポジツト材料の三次元解析

摘要

TEMは試料に電子線を照射し,透過·散乱した電子線を電磁気学的なレンズによって拡大像を得る装置であり,光源の違いを除けば,その原理は透過照明式の光学顕微鏡と全く同様である。 一般に,光学顕微鏡の理論分解能は200nm程度とされているが，電子線の場合，その波長が0.001nm～0.003nmと可視光の波長（400～760nm）に比べはるかに短いため,TEMにおける理論分解能は0.3nm～0.1nm（光学顕微鏡の約1000分の1)となる。 TEMの基本性能は，電子に与えるエネルギーすなわち加速電圧で決定される。 電子の波長と加速電圧の関係は，式で与えられる.