バリア性能の向上

摘要

コーティング技術の中でもドライプロセス，すなわち気相でコーティングする方法は複数の元素からなる材料の構造をナノレベルで制御し合成できるため，あらゆる分野で実用化されてきている．コーティングによって，高硬度，耐磨耗性，摺動性，耐化学性，高バリア性の付与の他，アモルファスシリコン，化学センサ等の高機能性を付加することができる．ドライプロセスの2手法であるCVD （Chemical Vapor Deposition）法およびPVD（Physical Vapor Deposition）法は，真空装置を用いた低圧コーティング法が一般的である．低圧下では不純物の混入が少なく，また活性種同士の衝突頻度が少ないため，比較的容易に良質な薄膜を得ることができる．