超臨界二酸化炭素抽出法を用いた感光性ナノポーラスポリイミド

摘要

超臨界二酸化炭素(scCO{sub}2)による空孔形成剤の選択的抽出法を利用することにより，感光性と低誘電率を両立した感光性ナノポーラスポリイミドの開発に成功した．今回開発した手法を用いて作製されるポリイミド多孔質体は，ナノレベルの空孔から構成されるため微細パターニングが可能であり，ε=2 (＠1 MHz)レベルの低誘電率な膜とできる．しかも空孔が独立で閉じた構造であるため，ウエットプロセスで使用される薬液や湿分環境などに対しても高い耐性を示す．さらに，各種絶縁性回路基板用に広範囲なポリイミド材料として適用することが可能である．