高飽和磁化軟磁性膜を被覆した高分解能磁気力顕微鏡探針

摘要

磁気記録媒体の高密度化に伴い，磁気力顕微鏡(MFM)には像観察の高分解能化が求められている．MFM探針は一般にSiなどの非磁性探針に磁性膜を被覆することにより作製され，分解能に寄与する重要構成要素である．しかしながら，現在市販のMFM探針を用いた場合，分解能は20～30nm程度に留まっている．高分解能化にはMFM探針の先端曲率半径を低減させることが有効であるが，被覆磁性膜厚を減少させていくと信号検出感度も減少してしまい，鮮明な像が得られない．そこで，高飽和磁化材料を被覆膜に用いることにより，被覆膜厚を薄くした場合においても，像観察が可能であると考えられる．本研究では，高飽和磁化材料であるFe_xCo_(1-x)(x=1～0)を被覆膜に用いたMFM探針を作製し，分解能と探針磁化反転磁界について調べた．