FeとCoPt合金の磁性二層膜を被覆した磁気力顕微鏡探針の空間分解能と反転磁界

摘要

磁気力顕微鏡（MFM）は観察試料から漏洩する磁場勾配を検出し，磁化状態を観察する顕微鏡である．次世代高K_u磁気記録媒体や永久磁石材料の観察には，漏洩磁場による探針磁化反転を防ぐために，高分解能に加え，高い反転磁界(H_(sw))を持つ探針が必要になる．これまで，L1_0型構造を持つFePtやCoPt，FePd膜を被覆した高H_(sw)探針の作製が試みられている．我々は，比較的低い熱処理温度で高いK_u を持つ準安定L1_1構造が実現できるCoPt合金膜に着目し，この磁性材料を被覆して作製した高H_(sw)探針を検討している．本研究では，MFM信号の高感度検出が可能な高M_s-Feと高H_(sw)が期待されるL1_1-CoPt合金を組み合わせた磁性二層膜被覆MPM探針を作製し，高分解能で高H_(sw)の実現可能性を検討した．