ダンパを有するPZT精密位置決め機構の特性解析

摘要

そこで本研究では，このゲイン特性の低減がダンパを適用したことによるものであることを，次数の高いモデルを同定して解析することにより明らかにする。また，このゲイン特性の低減が過渡特性に与える影響についても考察を行い，結果として位置決めの際のオーバーシュートの原因になっていることを明らかにする。さらに，オーバーシュートを改善する制御系について検討を行い，その効果を実験的に確認する。