СИНТЕЗ GAN НИТЕВИДНЫХ НАНО- И МИКРОКРИСТАЛЛОВ, ИНДУЦИРОВАННЫЙ НАНОСЛОЕМ ТИТАНА

摘要

Продемонстрированы возможности нового способа выращивания нитрид-галлиевых нитевидных нано- и микрокристаллов с использованием сплошных пленок титана толщиной 10-30 nm в процессе роста. Показано, что такой способ может обеспечить рост GaN нитевидных нанокристаллов высокого качества с рекордно высокой скоростью порядка 10 μm/min.