Формирование тонких слоев станнатов свинца на монокристаллическом кремнии

摘要

Исследован процесс синтеза тонких пленок, содержащих станнаты свинца. Исходные структуры РЬ,5п/81 формировали магнетронным осаждением тонких слоев свинца и олова из твердой мишени и методом самораспыления из собственного расплава свинца на подложки монокристаллического кремния. Полученные структуры подвергались отжигу в потоке кислорода при температурах 520-1120 К в течение 10 мин. Установлена зависимость между способом получения тонкопленочного свинца, характером межфазных границ в исходных гетероструктурах, условиями их термического оксидирования и фазовым составом полученных пленок станнатов свинца.