マイクロチャンネルアレイとその応用

摘要

止まることのない微細化集積度の増大を達成し続けてきた半導体微細加工技術をエレクトロニクス以外の分野に応用する研究が近年活発である?当然のことであろうが，そこでは大規模集積回路に見合うようなマイクロマシン，MEMSあるいは〃TASといった高度で複雑なシステムの開発が目指されてきている1,2）．そのような中で，菊池らは，微小な溝のアレイを加工したシリコン単結晶基板表面に対してガラス基板を接合ないし庄著することにより溝を漏れのない流路に変換した極めて単純な構造のマイクロチャネルアレイを開発し，毛細血管モデルとして血液レオロジーの計測に用いてその有用性を示してきた3、7）.