3.光源をはかる3.4光源プラズマのシミュレーション－キセノンエキシマランプを例として－

摘要

3.4.1はじめに前節まで，光源を「はかる」手法として「計測」を中心に説明を行ってきました．「はかる」手法は，これだけではなく，適切な数値モデル化に基づく「シミュレーション」によっても光源プラズマを「はかる」ことができます．本節では，数ある光源プラズマの中から光プロセス分野など幅広い分野において産業的に応用されているキセノンエキシマランプ（波長 172 nm）を例にとり，最初にその励起源である誘電体バリア放電のモデリング手法に関して説明をし，その後，得られた結果の一例を紹介し，シミュレーションで何を「はかる」ことができるのかについて順を追って説明していきます．