低コヒーレンス干渉計を用いたプラズマプロセス中の基板温度計測技術

摘要

本解説では，低コヒーレンス干渉計を用いた基板裏面から表面までの被加工面層を含む各層の温度変化を向時に計測可能な手法について述べる．2章では，一般的に用いられている基板温度センサや，現在研究が進められている手法について紹介する．3章では低コヒーレンス干渉計を用いた基板温度計測の原理，4章では低コヒーレンス干渉計を用いた温度計測システムの構成，5章では本計測手法を用いた基板温度計測の結果について述べる．