走査型プローブ顕微鏡とその応用

摘要

走査型プローブ顕微鏡（ScanningProbeMicroscope:SPM）はレンズを使わない新しい顕微鏡として1980年代に発明された．先端を尖らせた微小な針（探針：プローブ）を試料表面に近づけ，試料ヰ探針間の力学的·電磁気的な近接場相互作用を検出しながら走査することで，試料表面の高分解能画像や物性の情報を得ることができる（図1)．