ダイヤモンド砥粒固定ソーワイヤの開発とそれを用いた硬質材料のスライス加工に関する開発研究

摘要

以上に述べた太陽電池とLEDに関する現状と将来展開を勘案して，当該研究グループでは太陽電池用シリコンならびにLEDパッケージ基板用サファイヤ製造のための高性能なダイヤモンド砥粒固定ソーワイヤの開発研究と試作に取り掛かり，商業ベースに適った製品を製造するとともに，このソーワイヤを採用して太陽電池用セルに用いるシリコンウエハならびにLEDパッケージ基板用のサファイヤウエハやSiCウエハの生産にまで到った過程について報告する．