Fe/Pt極薄2層構造膜からの垂直磁気記録媒体用FePt規則合金(100)配向膜の作製

摘要

我々はFePt合金の単層膜からではなく，基板上に直接Feと的を別々に対向ターゲット式スパッタ法により低堆積速度で堆積させ，それを水素雰囲気中で熱処理する事により，6nmという極薄膜において規則合金fct-FePtの(100)優先配向膜を実現する事に成功した．この作製法は基板上に直接作製するものであり，下地層等を一切必要としない点で他の手法と異なるものである．本報告では，Pt/Fe二層膜からの水素中熱処理効果によるc軸配向FePt規則合金極薄膜の形成について，研究過程とともに紹介する．また真空プロセスチャンバー内で，c軸配向FePt薄膜を直接作製するとりくみについても報告する．