垂直磁気異方性制御が可能なL1_0-Fe（Pd_xPt_(1-x)）合金を記憶層に用いたFePt基TMR積層膜の作製

摘要

一方、我々は昨年、（001）配向したL1_0型FePd規則合金薄膜の形成に成功し、そのH_kがL1_0型FePt規則合金薄膜のH_k（102kOe）と比較して1桁小さい14kOeであることを報告した。本研究では、記憶層として高い規則度を維持しながらH_kを制御することが可能なFe（Pd，Pt）薄膜を用いて、TMR積層膜の作製を試みた。