半導体デバイス·アナライザによる高速電流測定手法

摘要

B1500A半導体デバイス·アナライザに搭載されるWGFMUは、1台で波形生成機能と高速電流測定機能を実現した唯一の装置である。この装置を用いて、従来は測定が難しかった過渡電流特性やランダム·テレグラフ·ノイズ（RTN）の評価手法を紹介する。