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【24h】

干渉式リアルタイム膜厚モニタ

机译:干涉式实时膜厚监测仪

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摘要

近年の半導体デバイス製造工程においては、加工精度を向上させるために高度なプロセスモニタ技術が必要となってきている。 堀場製作所ではエッチング/成膜工程において膜厚変化をモニタできる干渉式リアルタイムモニタを提案する。
机译:近年来,在半导体器件制造过程中,需要先进的过程监视技术以提高处理精度。 Horiba Seisakusho提出了一种干涉式实时监视器,该监视器可以监视蚀刻/沉积过程中膜厚度的变化。

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