アトムプローブ分析法: 電界イオン顕微鏡

摘要

アトムプローブ電界イオン顕微鏡（Atom Probe Field Ion Microscope，APFIM）は電界イオン顕微鏡（FIM）に飛行時間型質量分析器を取付けたもので，FIMで金属表面の個々の原子を観察して，これらを飛行時間型質量分析により同定することのできる局所分析装置である．