電子材料製造における粉体技術：スターバースト（湿式微粒化装置）によるナノ電子材料製造例

摘要

「スターバースト」（写真1）は，金属·セラミック粒子を混合したスラリー状原料を最高245MPaの超高圧に加圧し，粉砕チャンバー内で微細なノズルから噴射することにより，圧力エネルギーを速度エネルギーに変換し，その高速によって得られる①運動エネルギー（∽速度{sup}2），②高い剪断力（∽速度／通過流路），③高速で発生するキャビテーションの崩壊圧（気泡発生度合∽速度{sup}2）で，原料粒子の微粒化を実現するものである。 標準的な原料フロー図を図1に示す。 チャンバーには微粒化形態に応じて各種タイプを用いるが，図1の基本タイプの斜向衝突型では，斜向に取り付けたノズルから最大700m/sの高速で原料が衝突する。