SMIF導入に伴う空調エネルギー削減

摘要

CRを停止せず，生産活動を行いながらクラス適正化が図れ，特に問題もなく展開でき将来の微細化対応の環境が整った。 最終的に省エネ効果のほか歩留まり向上。 循環フアンメンテナンス周期延長と、いう効果も得られ，大きな成果が得られた。